在凈化車間內防止微粒子的四項基本原則

在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。 凈化車間內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

在凈化車間內不攜入微粒子的方法有： 作業(yè)員進入凈化車間前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理； 進入凈化車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入凈化車間。 機器及材料帶進凈化車間前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進凈化車間前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入凈化車間。 凈化車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

在控制最大污染源--人在凈化車間內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：

減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

采用磨耗發(fā)塵小的材質；

采用發(fā)塵小的潤滑油；

機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

在最高等級的凈化車間中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在凈化車間內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在凈化車間內會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓凈化車間內產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向凈化車間外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到凈化車間內之對策。